AG体育微导纳米申请TOPCon太阳能电池及其制备方法专利提升太阳能电池的转换效率

　　AG体育金融界2023年12月7日消息，据国家知识产权局公告，江苏微导纳米科技股份有限公司申请一项名为“一种TOPCon太阳能电池及其制备方法“，公开号CN117174783A，申请日期为2023年10月。

　　专利摘要显示，本发明属于太阳能电池技术领域，具体涉及一种TOPCon太阳能电池及其制备方法。本发明通过采用PECVD+PEALD两种方式结合沉积隧穿氧化层。采用PECVD预先沉积厚度为0.1‑0.5nm的薄氧化层，在后续PEALD工艺中，薄氧化层对基片表面起到一个化学钝化的作用，然后采用PEALD工艺在氧化层的基础上均匀性的沉积一层隧穿氧化层AG体育。该生长方式基础原理为原子层沉积，氧化层的均匀性好，受管内气流，温度，电场AG体育，射频的影响较小，可以避免完全由笑气电离生产隧穿氧化层出现的卡点印等电致发光测试不良，并减少等离子体的轰击对基片表面的损伤影响，一定程度上提升了TOPCon太阳能电池的转换效率。